출원번호 : 2019990002651  (1999.02.22)
등록일자 : 
출원인 : 현대반도체 주식회사
IPC : H01L 21/71
초록 : 본 고안은 진공량 조절이 가능한 아이솔레이션 개폐밸브에 관한 것으로서, 공정쳄버와 진공펌프를 연결하는 펌핑라인에 설치되는 밸브 몸체와, 상기 밸브 몸체 내부에 설치된 제 1 벨로우즈와, 상기 제 1 벨로우즈에 연장형성된 제 2 벨로우즈와,상기 제 2 벨로우즈의 외부를 감싸고 상기 펌핑라인을 일부 또는 전부 개폐시키는 개폐부와, 상기 밸브 몸체내부로 왕복구동되면서 상기 제 1 및 제 2 벨로우즈를 수축 또는 팽창시켜 상기 개폐부에 의해 상기 펌핌라인의 일부 또는 전부를 개폐되도록 하는 피스톤을 포함하여 이루어진다.

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